Thèse de Doctorat de B. Legrand - septembre 2000

UNIVERSITE DES SCIENCES ET TECHNOLOGIES DE LILLE FLANDRES-ARTOIS N° d’ordre : 2774 THESE Présentée en vue de l’obtention du grade de DOCTEUR DE L’UNIVERSITE Spécialité : Electronique par Bernard LEGRAND ELABORATION ET CARACTERISATION PHYSIQUE PAR MICROSCOPIES A CHAMP PROCHE DE NANOSTRUCTURES SEMI-CONDUCTRICES Soutenue le 29 septembre 2000 devant la commission d’examen composée de Président : E. CONSTANT Rapporteurs : J.M. GERARD S. SAFAROV Examinateurs : C. FRETIGNY J. GAUTIER D. STIEVENARD (Directeur de thèse) RESUME Le développement des techniques de microscopie à champ proche depuis le milieu des années quatre-vingt a permis d’obtenir des moyens puissants de caractérisation et d’élaboration de structures aux dimensions nanométriques. Les nanostructures semi-conductrices offrent des applications en électronique et deux approches sont possibles pour leur fabrication : soit on utilise une lithographie haute résolution et bas coût pour définir les motifs, ou alors on tire profit des phénomènes d’autoorganisation de certains systèmes de matériaux afin d’obtenir directement des nanostructures. Dans le cadre de cette thèse, le microscope à force atomique (AFM) en mode oscillant a été mis en œuvre dans un premier temps pour fabriquer des nanofils de silicium isolés du substrat. Après avoir développé une technique originale utilisant des impulsions de tension pour réaliser l’étape de ...