Étude expérimentale et théorique de microcaloducs et technologie silicium

Chapitre 2 : Méthodologies de réalisation et de test des microcaloducs L’étude bibliographique présentée dans le chapitre précédent montre que les études de réseaux de microcaloducs réalisés entièrement en silicium sont encore très peu nombreuses actuellement. Cet état de fait est principalement dû à la complexité de leur réalisation, encore accrue si de nouvelles étapes technologiques sont mises en œuvre pour réaliser des capteurs de température pariétaux. Enfin, le remplissage des microcaloducs effectué avant de les tester est également une étape très délicate. L’ensemble des étapes nécessite la mise en œuvre de différentes procédures et la réalisation de plusieurs bancs d’essais. Toutes ces procédures peuvent être longues à maîtriser et demandent des domaines de compétence très divers. Il a été indispensable de travailler en collaboration avec des laboratoires dont les spécialités sont adaptées à certaines des tâches. Ainsi, le Laboratoire de Physique de la Matière de l’INSA de Lyon et l’Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et de Photonique de Grenoble, laboratoires spécialisés en micro et nanotechnologies, ont participé activement à la réalisation des prototypes testés au CETHIL, dans le cadre d’un projet pluridisciplinaire initié avec l’aide de la région Rhône-Alpes. 2.1. Réalisation de réseaux de microcaloducs D’un point de vue technologique, la réalisation d’un réseau de microcaloducs entièrement en silicium est composée de ...