Étude expérimentale et théorique de microcaloducs et technologie silicium

9SOMMAIRE NOMENCLATURE................................................................................................... 13 INTRODUCTION..................................................................................................... 17 CHAPITRE 1 : PRÉSENTATION DES MICROCALODUCS.......................... 21 1.1. FONCTIONNEMENT DES MICROCALODUCS .......................................................... 21 1.1.1. Cycle de fonctionnement des microcaloducs........................................................... 22 1.1.2. Limites de fonctionnement...................................................................................... 24 1.2. PRINCIPAUX PHÉNOMÈNES PHYSIQUES MIS EN JEU.............................................. 26 1.2.1. Hydrodynamique des microcaloducs ...................................................................... 26 1.2.2. Phénomènes interfaciaux dans un microcaloduc.................................................... 29 1.2.3. Etude de la microrégion .......................................................................................... 34 1.3. ETUDES EXPÉRIMENTALES DE MICROCALODUCS ................................................. 38 1.3.1. Etudes expérimentales de microcaloducs métalliques............................................. 38 1.3.2. Réseaux de microcaloducs en silicium et verre....................................................... 40 1.3.3. Réseaux de microcaloducs réalisés entièrement en silicium ....... ...