Contribution à l'étude de procédés de réalisation de structures métal PZT métal sur silicium

Introduction générale Introduction générale Depuis maintenant un siècle, les matériaux piézoélectriques ont contribué au développement de nouvelles technologies, en particulier le titanate-zirconate de plomb (PZT) développé au milieu des années 1960 qui a grandement amélioré les performance des sonars de l'époque. En effet, le PZT présente de forts coefficients, qu'ils soient piézoélectriques ou diélectriques. Au cours des années 1980, l'utilisation industrielle de cette céramique a permis de remarquables réalisations et avancées dans le domaine des techniques ultrasonores (sonars, écographie), ainsi que pour l'asservissement des pointes des microscopes à effet tunnel, l'augmentation de la précision des microdéplacements (notamment en microscopie à force atomique). Les moteurs linéaires ou rotatifs, les composants en microélectronique (lignes à retard, capteur, résonateurs) constituent un autre domaine d'application pour le PZT les microsystèmes sur silicium (ou MEMS de l'anglais Micro Electro-Mechanical Systems : microsystèmes électro-mécaniques). En effet, les microsystèmes peuvent tirer parti des propriétés électromécaniques du PZT en intégrant celui-ci directement sur tranches de silicium. Depuis le début des années 80, un enjeu de taille consiste à intégrer le PZT sous la forme de films minces sur substrats silicium. C'est l'avènement de ces dépôts en couches aminces par des techniques compatibles CMOS couplé à la maturité des procédés de ...