Contribution à l'étude de procédés de réalisation de structures métal PZT métal sur silicium pour

Chapitre I - Piézoélectricité, ferroélectricité et applications industrielles du PZT Chapitre I Piézoélectricité, ferroélectricité et applications industrielles du PZT Résumé : Dans ce chapitre nous allons rappeler les définitions et les propriétés associées à la piézoélectricité. Nous présentons également une partie sur les matériaux de type PZT, le diagramme de phase et, en particulier, la structure pérovskite. Puis, après avoir rappelé les équations régissant la piézoélectricité, nous présentons les applications les plus répandues pour les matériaux piézoélectriques sous forme massive. 15 Chapitre I - Piézoélectricité, ferroélectricité et applications industrielles du PZT I.1. Introduction L'effet piézoélectrique a beau avoir été découvert il y a plus d'un siècle, il intéresse toujours autant la communauté scientifique. En effet, c'est en 1880 que l'effet piézoélectrique est découvert sur le quartz par les frères Curie. En 1917 Langevin se sert de cristaux de quartz pour engendrer des ondes de pressions, puis, la découverte dans les années 40 des sels piézoélectriques comme le BaTiO permettent d'augmenter le couplage électromécanique 3(application pour les sonars). C'est dans les années 1950-1960 que de nouvelles céramiques, 1donnent un deuxième souffle à la piézoélectricité , les oxydes ternaires de plomb (PZT) permettent de réaliser un saut technologique qui n'a pas été renouvelé depuis. Les principaux atouts de ces ...