Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Stanislav Mráz

Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films Von der Fakultät für Georessourcen und Materialtechnik der Rheinisch - Westfälischen Technischen Hochschule Aachen zur Erlangung des akademischen Grades eines Doktors der Naturwissenschaften genehmigte Dissertation vorgelegt von Magister Stanislav Mráz aus Malacky, Slowakei Berichter: Univ.-Prof. Jochen M. Schneider, Ph.D. Univ.-Prof. Dr.rer.nat. Matthias Wuttig Tag der mündlichen Prüfung: 04. August 2006Diese Dissertation ist auf den Internetseiten der Hochschulbibiothek online verfügbar Materials Chemistry DissertationNo.: 07 (2006)Stanislav MrázInfluence of the plasma chemistry and energetics onthe composition and structure evolution of sputteredoxide thin filmsShaker VerlagAachen 2006Bibliographic information published by the Deutsche NationalbibliothekThe Deutsche Nationalbibliothek lists this publication in the DeutscheNationalbibliografie; detailed bibliographic data are available in the Internet athttp://dnb.d-nb.de.Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006Copyright Shaker Verlag 2006All rights reserved. No part of this publication may be reproduced, stored in aretrieval system, or transmitted, in any form or by any means, electronic,mechanical, photocopying, recording or otherwise, without the prior permissionof the publishers.Printed in Germany.