![Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Stanislav Mráz](https://img.uscri.be/pth/18e0eec8682551b2f4caa8da61541c7b7e1b8bcd)
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Savoirs
Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Stanislav Mráz
Auteur
Heinjochen
Œuvres
(
1
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