![Thin films of copper oxide and copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices [Elektronische Ressource] = Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente / von: Thomas Wächtler](https://img.uscri.be/pth/f783af163374172d8a9823fa661cd991be98ebaf)
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Thin films of copper oxide and copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices [Elektronische Ressource] = Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente / von: Thomas Wächtler
