The strength limits of ultra-thin copper films [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Guillaume Wiederhirn

Max-Planck-Institut für Metallforschung Stuttgart The strength limits of ultra-thin copper films Guillaume Wiederhirn Dissertation an der Universität Stuttgart Bericht Nr. 199 Juli 2007 THE STRENGTH LIMITS OF ULTRA-THIN COPPER FILMS Von der Fakultät für Chemie der Universität Stuttgart zur Erlangung der Würde eines Doktors der Naturwissenschaften (Dr. rer. nat.) genehmigte Abhandlung Vorgelegt von GUILLAUME WIEDERHIRN aus Colmar, Frankreich Hauptberichter: Prof. Dr. phil. Eduard Arzt Mitberichter: Prof. Dr. rer. nat. Gerhard Dehm Tag der mündlichen Prüfung: 02.07.2007 Institut für Metallkunde der Universität Stuttgart und Max-Planck-Institut für Metallforschung Stuttgart Stuttgart, Juli 2007 Meinen Eltern "Des chercheurs qui cherchent, on en trouve, mais des chercheurs qui trouvent, on en cherche." Charles de Gaulle Abstract Guillaume Wiederhirn THE STRENGTH LIMITS OF ULTRA-THIN COPPER FILMS Max Planck Institute for Metals Research and Institute of Physical Metallurgy, University of Stuttgart, 2007 212 pages, 97 figures, 15 tables Abstract Elucidating size effects in ultra-thin films is essential to ensure the performance and reliability of MEMS and electronic devices.