Thése CIFRE Atom Probe ST IM2NP Septembre 2009

Proposition de thèse CIFRE IM2NP-Institut Matériaux Microelectronique Nanosciences de Provence (Marseille) / STMICROELECTRONICS (Crolles) La sonde atomique tomographique : applications aux dispositifs CMOS avancés sub-45nm Directeur de Thèse : Dominique Mangelinck, IM2NP (Marseille) Laboratoire d’accueil : IM2NP (Marseille) 80% + STMicroelectronics Crolles 20% Co-encadrant côté ST : Marc Juhel/ Magali Grégoire Début de la thèse : Sept-Octobre 2009 Contacts : Dominique Mangelinck Tel/Fax: (33) 4 91 28 89 86 / (33) 4 91 28 87 75 WEB: http://www.im2np.fr/ E-mail: dominique.mangelinck@im2np.fr Magali Grégoire Tel/Fax : (33) 4 38 92 28 16/ (33) 4 91 38 92 36 81 WEB : http://www.st.com/ E-mail : magali.gregoire@st.com M. Grégoire, M. Juhel 1/3 Description: The increasing scaling down and complexity of microelectronics devices requires the introduction of new materials and new processes. Moreover, reduction of dimensions requests the development of new characterization tools and methodologies. One of advanced characterization methods with very high spatial resolution is the tomographic atom probe (TAP). This instrument permits to obtain an analytical imaging of materials in three dimensions at ...