Surface characterization of indium compounds as functional layers for (opto)electronic and sensoric applications [Elektronische Ressource] / von Marcel Himmerlich

Surface characterization of indium compoundsas functional layers for (opto)electronicand sensoric applicationsDissertationzur Erlangung des akademischen Gradesdoctor rerum naturalium (Dr. rer. nat.)vorgelegt dem Rat derFakult¨at fur¨ Mathematik und Naturwissenschaftender Technischen Universit¨at Ilmenauvon Dipl.-Ing.Marcel Himmerlichaus WaltershausenGutachter:Priv.-Doz. Dr. S. Krischok, Institut fu¨r Physik, Technische Universit¨at IlmenauProf. Dr. O. Ambacher, Fraunhofer-Institut fur¨ Angewandte Festk¨orperphysik, FreiburgProf. Dr. T.A. Klar, Institut fur¨ Physik, Technische Universit¨at IlmenauTag der Einreichung: 26.06.2008Tag der off¨ entlichen Aussprache: 05.11.2008urn:nbn:de:gbv:ilm1-2008000246Contents1 Introduction and motivation 12 Experimental: setup, methods and physical principles 32.1 Thin film growth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32.2 Reflection high-energy electron diffraction (RHEED) . . . . . . . . . . . . . 52.3 Photoelectron spectroscopy (PES) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72.3.1 Theory of photoelectron emission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92.3.2 X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) . . . . . . . . . . . . . . . . 112.3.3 Ultra-violet photoelectron spectroscopy (UPS) . . . . . . . . . . . . 112.3.4 Secondary electron emission (SEE) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.4 Electron energy loss spectroscopy (EELS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132.