Struktur- und Lumineszenzuntersuchungen an unterschiedlich präparierten, modifizierten und strukturierten nanoporösen Si-Schichten [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Anna Bruska

Struktur- und Lumineszenzuntersuchungenan unterschiedlich pr¨aparierten, modifiziertenund strukturierten nanopor¨osen Si-SchichtenDissertationzur Erlangung des akademischen Gradesdoktor rerum naturalium(Dr. rer. nat.)vorgelegtder Fakult¨at fu¨r Naturwissenschaftender Technischen Universit¨at Chemnitz-Zwickauvon Diplomphysikerin Anna Bruskageboren am 08.08.1969 in Torun`Chemnitz, den 19.09.1996Bibliographische BeschreibungBruska, AnnaStruktur- und Lumineszenzuntersuchungen an unterschiedlich pr¨aparierten,modifizierten und strukturierten nanopor¨osen Si-SchichtenDissertation ATechnische Universti¨at Chemnitz-Zwickau,Institut fu¨r Physik,Chemnitz, 1995163 Seiten, 68 Bilder, 4 Tabellen, 256 Literaturstellen, 14 ThesenReferat : Die vorliegende Arbeit beschreibt die Herstellung, Strukturierungund Modifizierung von por¨osem Silizium. Es wird der Mechanismus der Lu-mineszenz in por¨osem Silizium und der Einfluß von HerstellungsparameternundeinerDotierungmitLaserfarbstoffenaufdieoptischenEigenschaftenvonpor¨osem Silizium untersucht. Fu¨r die optische Charakterisierung wurdenPhotolumineszenz-, Photolumineszenzanregungs- und Kathodolumineszen-zspektren aufgenommen. Weiterhin werden Methoden zur Erzeugung vonpor¨osen Mikrostrukturen mit Hilfe eines ECSTM sowie zum Schreiben vonoptischen Mustern in por¨osem Silizium durch einen Elektronenstrahl vorge-stellt. Strukturelle Untersuchungen wurden miteinemSEMundeinemTEMdurchgefu¨hrt.