Simulation, analysis, and fabrication of miniaturized components with applications in optical interconnects and parallel microscopy [Elektronische Ressource] / put forward by Denis Wohlfeld

Doin:bsubmittedfortoSciencestheDenisCom16.12.2009bineddegreeFofacultiesforwforDiplom-InformatiktheohlfeldNaturalOralSciencesyandtheforofMathematicsofNaturalthePutRuparderto-CarolayUniver:ersitWyBornofLeipzigHeidelbexamination:erg,DissertationGermanSimProf.arallelulation,Prof.Analysis,andandyFKarl-HeinzStefanofMiniaturizedPComponenReferees:tsDr.withBrennerApplicationsDr.inSinzingerInhighforOptikinundmanMiniaturisierunghomogeneoussindfabricationzwyeiscanningScandhlüsseltecthnologieninmitandvielfäl-fabricationtigenAntegratedwandendungsfeldern,dennsieermöglicvhenwProofduktefomithhöhererisFmeasuremenunktionalitätmethobeilikecthzeitigerinReduktionThederdevGröÿebsoortingwieareasderyKoosten.theIndieseralsoArbmetricaleitwTheerdenerzweithesis.Anwinwithhkandeitenreplicationfüred.MikroonenoptikdeepindenvBereiced.