Etude par spectroscopie optique des propriétés physiques des couches nanométriques de Si contraint

Conclusions et perspectives. Conclusions et perspectives 145 Conclusions et perspectives. 146 Conclusions et perspectives. L’étude que nous avons menée sur le Si contraint avait pour objectif de contribuer à une compréhension des propriétés structurales et physiques de ce matériau en utilisant essentiellement des techniques de spectroscopie optique. Dans ce contexte, nous avons déterminé la déformation induite dans les couches Si à l’aide de la spectroscopie Raman pour différentes valeurs de contrainte et pour différentes épaisseurs. Pour l’obtention de la déformation à partir de décalage Raman, nous avons calculé à partir des paramètres des potentiels de déformation un facteur c (0.138) qui est en bon accord avec la valeur expérimentale (0.134) déjà rapportée dans la littérature. Nous avons utilisé deux sources d’excitation (visible 458 nm et UV 363 nm) pour la réalisation de cette mesure. La raie excitatrice à 363 nm a été utilisée pour s’affranchir de la réponse provenant du substrat Si et pour exhausser le signal de la couche par un effet Raman résonnant. Les résultats obtenus avec les deux sources sont en bon accord avec les calculs théoriques et démontrent l’efficacité de cette technique pour l’évaluation des déformations dans les couches ultra fines (10 nm). Par ailleurs, les mesures Raman ont été ...