Contribution à l'étude de procédés de réalisation de structures métal PZT métal sur silicium pour

Chapitre V - Technologie pour la réalisation de démonstrateurs et mesure du coefficient piézoélectrique d 31 Chapitre V Technologie pour la réalisation de démonstrateurs et mesure du coefficient piézoélectrique d 31 Résumé : Après avoir optimisé le procédé de dépôt de l'électrode inférieure et celui du matériau piézoélectrique, nous présentons dans ce chapitre l'enchaînement d'étapes technologiques conduisant à la réalisation de démonstrateurs et à leurs caractérisations piézoélectriques. 161 Chapitre V - Technologie pour la réalisation de démonstrateurs et mesure du coefficient piézoélectrique d 31 V.1. Introduction Une fois le procédé d'élaboration optimisé, il est important de montrer qu'il est compatible avec toutes les étapes technologiques nécessaires à la réalisation de démonstrateurs. Nous allons détailler ces étapes technologiques qui font en particulier intervenir la structuration des électrodes et du PZT par des techniques de lift-off et de gravure. Ces procédés de réalisation seront les mêmes quelle que soit l'application visée, seuls les masques changeront. Puis nous nous servirons de cette technologie pour réaliser des poutres servant à mesurer le coefficient d de notre matériau. En effet, bien qu'un matériau 31ferroélectrique soit forcément piézoélectrique, il est important de pouvoir le mesurer. Nous allons présenter les différentes méthodes de caractérisation existantes en insistant sur la méthode de ...