Particle emission from extreme ultraviolet light sources [Elektronische Ressource] / von Thomas Brauner

Particle Emission fromExtreme Ultraviolet Light SourcesDissertationzur Erlangung des akademischen Gradesdoctor rerum naturaliumvorgelegt dem Rat der Physikalisch-Astronomischen Fakulta¨t derFriedrich-Schiller-Universitat Jena¨von Diplom-PhysikerThomas Braunergeboren am 23.03.1976 in WittlichGutachter:1. Prof. Dr. R. Sauerbrey, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (Deutschland)2. Prof. Dr. H. Fiedorowicz, Military University of Technology Warszawa (Polen)3. Prof. Dr. D. Ruzic, University of Illinois at Urbana-Champaign (USA)Tag der letzten Rigorosumsprufung: 26.04.2007¨Tag der ¨offentlichen Verteidigung: 29.05.2007Contents1 Introduction 11.1 Extreme Ultraviolet Radiation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21.1.1 Optical Properties of EUV Radiation . . . . . . . . . . . . . . . 21.1.2 Sources of EUV Radiation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.1.3 EUV Metrology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2 Properties of Hot Plasmas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71.2.1 Basic Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71.2.2 Thermodynamic Plasma Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81.2.3 EUV Emission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91.3 Laser Produced Plasmas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131.4 Gas Discharge Plasmas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141.5 Particle Emission from Hot Plasmas and Optics Lifetime .