Mikromechanische Ultraschallwandler aus Silizium [Elektronische Ressource] = Silicon micromachined ultrasonic transducers / vorgelegt von: Chenping Jia

Mikromechanische Ultraschallwandler aus Silizium (Silicon Micromachined Ultrasonic Transducers) von der Fakultät für Maschinenbau der Technischen Universität Chemnitz Genehmigte Dissertationsschrift zur Erlangung des akademischen Grades des Doktor der Ingenieurwissenschaften (Dr.-Ing.) vorgelegt von: M. Eng., Chenping Jia Geboren am 13.05.1972 in Huoxian County, P. R. China eingereicht am 14.01.2005 Gutachter: Prof. Dr.-Ing. Arved Carl Hübler Prof. Dr.-Ing. habil. Thomas Gessner Prof. Dr.-Ing. habil. Bernd Michel Prof. Dr.-Ing. Hans Heinrich Gatzen Chemnitz, den 14.01.2005 Abstract Bibliographische Beschreibung Jia, Chenping Mikromechanische Ultraschallwandler aus Silizium – Silicon Micromachined Ultrasonic Transducers Dissertation an der Fakultät für Maschinenbau und Verfahrenstechnik der Technischen Universität Chemnitz, Institut für Print- und Medientechnik Chemnitz, 14.01.2005 Dissertation A S.: 125 Abb.: 112 Tab.: 5 Lit.: 88 Referat This paper discusses basic issues of micromachined ultrasonic transducers, including their design and fabrication. First, the acoustic fundamentals of ultrasonic transducers are introduced, and relevant simulation methods are illustrated. Following these topics, important aspects of silicon micromachining are presented. Based on this knowledge, two distinctive micromachining processes for transducer fabrication are proposed.