Micro-particles as thermal probes in a low-pressure rf-discharge [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Horst R. Maurer

Micro-particles as thermal probesin a low-pressure rf-dischargeDissertationzur Erlangung des Doktorgradesder Mathematisch-Naturwissenschaftlichen Fakultätder Christian-Albrechts-Universität zu Kielvorgelegt vonHorst R. MaurerKiel,Oktober 2010Referent: Prof. Dr. Holger Kersten, Universität KielKorreferent: Prof. Dr. Ir. G.M.W. Kroesen, Eindhoven University of TechnologyTag der mündlichen Prüfung: 03.12.2010Zum Druck genehmigt: 03.12.2010gez. Prof. Dr. Lutz Kipp, DekanKurzfassungIn dieser Dissertation wird eine Methode zur Messung der Temperatur von Mi-kropartikeln in einem Plasma vorgestellt und die Verwendung dieser Partikel zurBestimmung der relevanten Energieflüsse diskutiert. Diese Temperaturdiagnostikkann zur Charakterisierung von partikelhaltigen Prozessplasmen dienen, in denendieOberflächentemperatureinenwichtigenParameterinplasmatechnischenVerfah-ren darstellt. Darüber hinaus eröffnet die Kenntnis der Partikeltemperatur einenalternativen, nichtelektrischen Zugang zum Verständnis von Plasma-Wand-Wech-selwirkungen, der ergänzend zu konventionellen Methoden wertvolle Informationenliefern kann.Zur Messung der Temperatur werden temperatursensitive optische Eigenschaf-ten geeigneter Leuchtstoffpartikel benutzt, die von einer externen Strahlungsquel-le zur Lumineszenz angeregt werden.