Light scattering of optical components at 193 nm and 13,5 nm [Elektronische Ressource] / von Sven Schröder

Friedrich-Schiller-Universitat¨ Jena¨Physikalisch-Astronomische FakultatLight scattering of optical componentsat 193 nm and 13.5 nmDissertationzur Erlangung des akademischen Gradesdoctor rerum naturalium (Dr. rer. nat.)vorgelegt dem Rat der Physikalisch-Astronomischen Fakultat¨der Friedrich-Schiller-Universit¨at Jenavon Dipl.-Phys. Sven Schro¨dergeboren am 30. Juli 1975 in ErfurtGutachter1. Prof. Dr. rer. nat. Andreas Tunnerm¨ ann2. Prof. Dr. rer. nat. H. Angus Macleod3. Prof. Dr. rer. nat. Theo TschudiTag der letzten Rigorosumsprufung: 8. Juli 2008¨Tag der offentlichen Verteidigung: 17. Juli 2008¨Contents1 Introduction 12 Definitions 42.1 Specular reflectance and transmittance . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52.2 Light scattering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52.2.1 Total scattering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52.2.2 Angle resolved scattering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52.2.3 Bulk scattering coefficient . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62.3 Roughness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62.3.1 Rms roughness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62.3.2 Power Spectral Density function . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63 Theoretical models of scattering and roughness 93.1 Specular reflectance and transmittance of imperfect interfaces . . . . . 93.2 Scattering of single surfaces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .