Impact of contamination on hydrogenated amorphous silicon thin films & solar cells [Elektronische Ressource] / Jan Wördenweber

     „Impact of contamination on hydrogenated amorphous silicon thin films & solar cells”    Von der Fakultät für Mathematik, Informatik und Naturwissen‐schaften  der  RWTH  Aachen  University  zur  Erlangung  des akademischen Grades eines Doktors der Naturwissenschaften genehmigte Dissertation   vorgelegt von Diplom‐Physiker  Jan Wördenweber aus Herdecke   Berichter: Universitätsprofessor M. Wuttig          U. Rau              Tag der mündlichen Prüfung: 15.12.2010   Diese  Dissertation  ist  auf  den  Internetseiten  der  Hochschul‐bibliothek online verfügbar.  II Einfluss von Verunreinigungen auf hydrogenisierte, amorphe Silizium Dünnschichten und Solarzellen  Kurzfassung   Diese Studie beschäftigt sich mit dem Einbau von Sauerstoff und Stickstoff  während  der  Deposition  amorpher,  intrinsischer  Absorberschichten (i‐Schichten)  für  p‐i‐n  Dünnschichtsolarzellen  aus  amorphem,  hydrogenisiertem Silizium (a‐Si:H). Des Weiteren wird die Problematik der Bor‐Verschleppung bei Einkammerprozessen untersucht. Die  atmosphärischen  Verunreinigungen  wurden  während  der  Deposition  der nominell  unkontaminierten  i‐Schicht  mittels  künstlicher  Lecks  hinzugefügt. Untersucht  wurde  unter  anderem  der  Einfluss  der  Art  der  Verunreinigung (Sauerstoff & Stickstoff), der zugefügten Menge der Verunreinigung (Leckflussrate), des  Ortes  der  Verunreinigung  (Kammerleck  bzw.