High-resolution electron tomography on beam-sensitive carbon materials [Elektronische Ressource] / Jens Leschner

Universität UlmZentrale Einrichtung ElektronenmikroskopieMaterialwissenschaftliche ElektronenmikroskopieHigh-Resolution Electron Tomographyon Beam-Sensitive Carbon MaterialsDissertationzur Erlangung des Doktorgrades Dr. rer. nat.der Fakultät für Naturwissenschaften der Universität Ulmvorgelegt von Jens Leschner aus Ellwangen, 2011Dekan: Prof. Dr. Axel GroßGutachter:Erstgutachten: Prof. Dr. rer. nat. Ute Kaiser - Universität UlmZweitgutachten: Prof. Dr. rer. nat. Paul Walther - Universität UlmTag der Promotion: 21.07.2011Contents1 Introduction 42 Theoretical background 102.1 High-resolution transmission electron microscopy . . . . . . . . . . . . . 102.1.1 Generation and characteristics of the electron beam . . . . . . . 122.1.2 Illumination system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142.1.3 Scattering of the electron beam . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142.1.4 The image forming lense . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 192.1.5 Aberrations and aberration correctors . . . . . . . . . . . . . . . 242.1.6 Signal recording . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 312.2 Electron Tomography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 332.2.1 The projection theorem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 342.2.2 Acquisition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 352.2.3 Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 352.2.