Grain growth and texture evolution in copper thin films [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Petra Sonnweber-Ribic

Max-Planck-Institut für Metallforschung Stuttgart Grain growth and texture evolution in copper thin films Petra Sonnweber-Ribic Dissertation an der Universität Stuttgart Bericht Nr. 228 September 2010 GRAIN GROWTH AND TEXTURE EVOLUTION IN COPPER THIN FILMS Von der Fakultät Chemie der Universität Stuttgart zur Erlangung der Würde eines Doktors der Naturwissenschaften (Dr. rer. nat.) genehmigte Abhandlung Vorgelegt von Petra Sonnweber-Ribic aus Ehenbichl, Österreich Hauptberichter: Prof. Dr. phil. Eduard Arzt Mitberichter: Prof. Dr. rer. nat. Horst P. Strunk Tag der mündlichen Prüfung: 27.09.2010 Institut für Materialwissenschaft der Universität Stuttgart und Max-Planck-Institut für Metallforschung Stuttgart 2010 Abstract Petra Sonnweber-Ribic GRAIN GROWTH AND TEXTURE EVOLUTION IN COPPER THIN FILMS Max Planck Institute for Metals Research and Institut für Materialwissenschaft, University of Stuttgart; Abstract An improved basic understanding of mechanisms causing grain growth and texture evolution in Cu thin films contains the potential to improve performance and reliability of components and devices.