Fabrication of polymer micro devices by ultrasonic hot embossing [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Puttachat Khuntontong

„Fabrication of Polymer Micro Devices by Ultrasonic Hot Embossing“ Von der Fakultät für Maschinenwesen der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen zur Erlangung des akademischen Grades einer Doktorin der Ingenieurwissenschaften genehmigte Dissertation vorgelegt von Puttachat Khuntontong aus Sukhothai, Thailand Berichter: Universitätsprofessor Dr.rer.nat. Werner Karl Schomburg Universitätsprofessor Dr.-Ing. Dirk Abel Tag der mündliche Prüfung: 15. Oktober 2008 Diese Dissertation ist auf den Internetseiten der Hochschulbibliothek online verfügbar. iKurzfassung Im Rahmen der vorliegenden Dissertation wird gezeigt, dass Heißprägen mit Ultraschall für die Herstellung von Mikrostrukturen und ganzen Mikrosystemen aus Kunststoff geeignet ist. Mikrostrukturen können hierbei in wenigen Sekunden erzeugt werden. Ähnlich wie beim Heißprägen wird ein Polymerfilm durch Erhitzen erweicht und die Mikrostruktur wird von einem Metallwerkzeug abgeformt. Die thermische Energie wird allerdings mit einem Ultraschallschweißgerät erzeugt, das mechanische Schwingungen mit bis zu einigen 10 µm Amplitude und einer Frequenz von 20 bis 70 kHz ausführt. Diese Schwingungen werden auf die Folie übertragen, indem die Sonotrode des Ultraschallgerätes die Folie auf das Werkzeug presst.