Extensions of non-negative matrix factorization and their application to the analysis of wafer test data [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Reinhard Schachtner

Extensions of Non-negative MatrixFactorization and their Applicationto the Analysis of Wafer Test DataDissertationzur Erlangung des Doktorgradesder Naturwissenschaften (Dr.rer.nat.)derhaftlichen Fakult at II { Physikder Universit at Regensburgvorgelegt vonReinhard Schachtneraus ReischachFebruar 2010Die vorliegende Dissertationsschrift entstand w ahrend einer dreij ahrigen Zusammenarbeit mit derFirma In neon Technologies AG Regensburg.Wissenschaftliche Betreuer:Prof. Dr. Elmar W. LangNaturwissenschaftliche Fakult at IIIInstitut fur Biophysik und physikalische BiochemieComputational Intelligence and Machine Learning GroupUniversit at RegensburgundDr. Gerhard P oppelPrincipal, Data AnalysisMethods Group PTE 4In neon Technologies AG RegensburgKolloquium: 23.04.2010Vorsitzender: Prof. Dr. Josef Zweck1. Gutachter: Prof. Dr. Elmar Lang2.hter: Prof. Dr. Ingo Morgensternweiterer Prufer: Prof. Dr. Klaus RichterContents1 Introduction 11.1 Blind Source Separation and Matrix Factorization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11.1.1 Blind Source Separation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11.1.2 Matrix Factorization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21.2 Industrial data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21.2.1 Wafer fabrication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2.