Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level [Elektronische Ressource] / Alexey Shaporin. Technische Universität, Chemnitz

Alexey Shaporin Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level Alexey Shaporin Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level Universitätsverlag Chemnitz 2009 Impressum Bibliografische Information der Deutschen Nationalbibliothek Die Deutsche Nationalbibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deut-schen Nationalbibliografie; detaillierte bibliografische Angaben sind im Internet über http://dnb.d-nb.de abrufbar. Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009   Technische Universität Chemnitz/Universitätsbibliothek Universitätsverlag Chemnitz 09107 Chemnitz http://www.bibliothek.tu-chemnitz.de/UniVerlag/    Herstellung und Auslieferung Verlagshaus Monsenstein und Vannerdat OHG Am Hawerkamp 31 48155 Münster http://www.mv-verlag.de ISBN 978-3-941003-09-5 urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902 URL: http://archiv.tu-chemnitz.