Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials [Elektronische Ressource] / Manel Haj-Taieb. Jarir Aktaa. Klaus Bade

.Forschungszentrum Karlsruhein der Helmholtz-GemeinschaftWissenschaftliche BerichteFZKA 7492Development of HighTemperature ElectrodepositedLIGA MEMS MaterialsM. Haj-Taieb, J. Aktaa, K. BadeInstitut für Materialforschung für MikrostrukturtechnikOktober 2009 Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft Wissenschaftliche Berichte FZKA 7492 Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials Manel Haj-Taieb*, Jarir Aktaa, Klaus Bade Institut für Materialforschung Institut für Mikrostrukturtechnik *von der Fakultät für Maschinenbau der Universität Karlsruhe (TH) genehmigte Dissertation Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe 2009 Für diesen Bericht behalten wir uns alle Rechte vor Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Postfach 3640, 76021 Karlsruhe Mitglied der Hermann von Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren (HGF) ISSN 0947-8620 urn:nbn:de:0005-074923 Development of high temperatureelectrodeposited LIGA MEMS materialsZur Erlangung des akademischen Grads einesDoktors der Ingenieurwissenschaftenan der Fakultät für Maschinenbau derUniversität Karlsruhe (TH)eingereichteDissertationvonDipl.-Ing. Manel Haj-Taiebaus Sfax, TunesienTag der mündlichen Prüfung: 10.06.2009Hauptreferent: Prof. Dr. Oliver KraftKorreferent: Prof. Dr. Volker SaileKorreferent: Prof. Dr.