Determination of the electron energy distribution function of a low temperature plasma from optical emission spectroscopy [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Dirk Hilar Dodt

Determination of the Electron EnergyDistribution Function of a Low TemperaturePlasma from Optical Emission SpectroscopyI n a u g u r a l d i s s e r t a t i o nzurErlangung des akademischen Gradesdoctor rerum naturalium (Dr. rer. nat.)an der Mathematisch-Naturwissenschaftlichen FakultätderErnst-Moritz-Arndt-Universität Greifswaldvorgelegt vonDirk Hilar Dodtgeboren am2.3.1979in IserlohnGreifswald, den 5.1.2009Dekan: Prof. Dr. Klaus Fesser1. Gutachter: PD Dr. Dinklage2. Gutachter: Prof. Dr. SoltwischTag der Promotion: 17.4.2009Contents1 Introduction 11.1 Motivation and Scope of Work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11.2 Existing Approaches for the Interpretation of Spectroscopic Data . . . . . . . . . . 21.3 Proof of Principle using a Stable dc Discharge in Neon . . . . . . . . . . . . . . . 22 Low Temperature Plasmas 32.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32.1.1 Plasma Physics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32.1.2 A Brief History of Plasma Physics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32.1.3 Characteristical Parameters of Plasmas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42.1.4 Kinetic Description of Plasmas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52.1.5 Electron Energy Distribution Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.2 Properties of Glow Discharges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .