Design, modeling and fabrication of radio-frequency microelectromechanical switches and coplanar filters [Elektronische Ressource] / von Anatoliy Batmanov

Design, Modeling and Fabrication of Radio-Frequency Microelectromechanical Switches and Coplanar Filters Dissertation zur Erlangung des akademischen Grades Doktoringenieur (Dr.-Ing.) von M. Sc. Anatoliy Batmanov geb. am 21. Januar 1979 in Stebnyk, Ukraine genehmigt durch die Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg Gutachter: Prof. Dr.-Ing. Edmund P. Burte Prof. Dr.-Ing. Abbas S. Omar Promotionskolloquium am: 14 April 2010 Zusammenfassung i Zusammenfassung Das Ziel der hier vorgelegten Dissertation waren die Modellierung, der Entwurf, die Herstellung und die messtechnische Charakterisierung von mikroelektromechanischen (MEMS) Schaltern sowie koplanaren Filtern für Anwendungen im Hochfrequenzbereich (HF). Die elektro-mechanische Modellierung und Optimierung von HF MEMS Schaltern mittels Finite Element Methoden (FEM) wurde untersucht. Dabei wurden zwei verschiedene Ansätze der Modellierung des elektrostatisch-strukturierten Problems verwendet. Die erste Methode basiert auf der konsequenten Anwendung eines Kopplungsalgorithmus, wobei die elektrostatische und die mechanische Problemstellung nacheinander gelöst wurden.