Demagnifying X-ray lithography [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Christiane Zimprich

Demagnifying X-Ray LithographyVon der Fakult¨at fu¨r Mathematik, Informatik undNaturwissenschaften der Rheinisch-Westf¨alischen TechnischenHochschule Aachen zur Erlangung des akademischen Grades einerDoktorin der Naturwissenschaften genehmigte Dissertationvorgelegt vonDiplom-Physikerin Christiane Zimprichaus Schwalmstadt.Berichter: Universit¨atsprofessor Dr. B. LengelerUniversit¨atsprofessor Dr. H. Lu¨thTag der mu¨ndlichen Pru¨fung: 25. April 2003Diese Dissertation ist auf den Internetseiten der Hochschulbibliothek online verfu¨gbar.Contents1 Introduction 12 Synchrotron Radiation 52.1 Generation of X-Rays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62.2 Interaction with Matter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102.2.1 Absorption . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102.2.2 Refractive Index . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133 Imaging with PRXL 153.1 Imaging Geometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173.2 Effective Aperture . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183.3 Numerical Aperture . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183.4 Diffraction Limited Spot Size . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193.4.1 Resolution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203.4.2 Depth of Field. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203.5 Chromatic Aberration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 214 Lithography 234.