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English
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Documents
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2011
Description
An ion-trap setup for interaction studies ofclusters with intense laser lightI n a u g u r a l d i s s e r t a t i o nzur Erlangung des akademischen Gradesdoctor rerum naturalium (Dr. rer. nat.)an derMathematisch-Naturwissenschaftlichen FakultätderErnst-Moritz-Arndt-Universität Greifswaldvorgelegt vonHerrn Martin Arndtgeboren am 05.02.1981in WolgastGreifswald, Juni 2011Dekan: Prof. Dr. Klaus Fesser1. Gutachter : Prof. Dr. Lutz SchweikhardErnst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald2. Gutachter : Prof. Dr. Günter WerthJohannes Gutenberg-Universität MainzTag der Promotion : 5. Oktober 2011Für meine Eltern.Contents1 Introduction 12 Magnetron sputter cluster source 32.1 Magnetron sputter head . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32.1.1 Magnetron sputtering process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52.2 Aggregation chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62.3 Quadrupole bender . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72.4 McLaren inline time-of-flight mass spectrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92.4.1 DesignandfunctionoftheMcLareninlinetime-of-flightmassspectrometer 102.4.2 Simulation and optimization of the McLaren inline time-of-flight massspectrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112.5 Measurements with the magnetron sputter cluster source setup . . . . . . . . . 132.5.
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Publié par
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Publié le
01 janvier 2011
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Langue
English
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Poids de l'ouvrage
30 Mo