Amorphous silicon for the application in integrated optics [Elektronische Ressource] / von Alexander Harke

Amorphous Silicon for the Applicationin Integrated OpticsVom Promotionsausschuss derTechnischen Universita¨t Hamburg-Harburgzur Erlangung des akademischen GradesDoktor-Ingenieur (Dr.-Ing.)genehmigte DissertationvonAlexander Harkeaus Hannover20101. Gutachter: Prof. Dr. Jorg Muller¨ ¨2. Gutachter: Prof. Dr. Ernst BrinkmeyerTag der mu¨ndlichen Pru¨fung: 15. Februar 2010URN: urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-8670iiDanksagungDiese Arbeit entstand im Rahmen meiner T¨atigkeit als wissenschaftlicher Mitar-beiter am Institut fu¨r Mikrosystemtechnik der Technischen Universita¨t Hamburg-Harburg. Bei dem Leiter dieses Institutes, Herrn Prof. Dr. Jorg Muller, mochte ich¨ ¨ ¨mich herzlich fur die vielseitige und spannende Aufgabenstellung bedanken. Durch¨seinenReichtumanIdeenundErfahrunghaterimmerwiederneueImpulsefurdiese¨Arbeit gegeben.Allen ehemaligen Kollegen, insbesondere Herrn Marc Schober, Frau Julia Amthor,HerrnOliver Horn,HerrnGerritSchoer undFrauKrassimiraKoleva,mo¨chteichfu¨rdie angenehme Arbeitsatmospha¨re danken. Herrn Balaji Ponnam und Herrn TimoLipka dankeich fu¨r diewertvollen Beitra¨gedurch IhreStudien- undDiplomarbeitenund wu¨nsche Herrn Lipka viel Erfolg bei der Fortfu¨hrung der Forschungsarbeiten.Ebenfalls bedanken mochte ich mich bei Herrn Prof. Dr. Ernst Brinkmeyer fur die¨ ¨¨Ubernahme des Korreferats. Auch allen Mitarbeitern des Instituts optische Kom-munikationstechnik, insbesondere Herrn Dr.