A new SiC/HfB_1tn2 based micro hotplane for metal oxide gassensors [Elektronische Ressource] / vorgelegt von Florian Solzbacher

A new SiC/HfB based micro hotplate for metal 2oxide gassensors Florian Solzbacher A new SiC/HfB based micro hotplate for metal 2oxide gassensors vorgelegt von Diplomingenieur Florian Solzbacher aus Saarbrücken Der Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik der Technischen Universität Ilmenau zur Erlangung des akademischen Grades Doktoringenieur - Dr.-Ing. - vorgelegte Dissertation Berichterstatter: Vertr.-Prof. Dr.-Ing. habil. T. Doll Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. W. Buff Univ.-Prof. Dr. rer. nat. A. Schütze Univ.-Prof. Dr. M. Vellekoop Eingereicht am: 13.05.2003 Verteidigt am: 28.11.2003 Ilmenau 2003 Abstract Solzbacher, Florian A new SiC/HfB based modular concept of micro hotplates for metal 2oxide gassensors Im Rahmen dieser Arbeit wurde ein neuer SiC/HfB -basierter Mikroheizer 2mit niedrigster Leistungsaufnahme für die Anwendung in Metalloxid-Gassensoren entwickelt und demonstriert. Erstmals wurden Siliziumkarbid (SiC) und Hafniumdiborid (HfB ) als Werkstoffe für einen Mikroheizer 2eingesetzt. Durch geringe Modifikation der Herstellungsprozesse lässt sich der Heizer so variieren, dass der Einsatz sowohl für den automobilen Anwendungsbereich (12V-24V) als auch für tragbare Geräte (1V-2V) für eine Vielzahl unterschiedlicher Messgase möglich ist. Es ist der erste Mikroheizer für Gassensoren überhaupt, der den Batteriebetrieb bei nur 1-2 V erlaubt.