Les moyens des plateformes du réseau RENATECH

• exposé

Les moyens des plateformes du réseau RENATECH H. GRANIER Colloque INSU R&D pour l'astronomie et l'astrophysique 10 mai 2011 Grenoble IEF-MINERVE

• empilement de couches
• moyens des centrales
• résine photosensible
• dépôt enlèvement de la résine transfert du motif par gravure transfert du motif
• lpn
• equipements d'epitaxie
• vision globale des moyens
• gravure
• gravures
• matériaux