Étude expérimentale et théorique de microcaloducs et technologie silicium

N° d’ordre : 04-ISAL-0084 Année 2004 Thèse ETUDE EXPERIMENTALE ET THEORIQUE DE MICROCALODUCS EN TECHNOLOGIE SILICIUM présentée devant L’Institut National des Sciences Appliquées de Lyon pour obtenir LE GRADE DE DOCTEUR Formation doctorale : Thermique et Énergétique Ecole doctorale : MEGA (Mécanique, Énergétique, Génie Civil et Acoustique) par GUILLAUME PANDRAUD Ingénieur INSA de Lyon Soutenue le 10 décembre 2004 devant la commission d’examen : ALEXANDRE Alain Maître de Conférences, LET - ENSMA, Poitiers BOUSSEY Jumana Chargé de Recherche, IMEP – ENSERG/INPG, Grenoble Rapporteur HARMAND Souad Professeur, LME – Univ. Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis, Valenciennes JOLY Jean-Louis Professeur, LE - Univ. Paul Sabatier, Toulouse Rapporteur LALLEMAND Monique Professeur, CETHIL – INSA, Lyon Directeur LE BERRE Martine Maître de Conférences, LPM – INSA, Lyon Thèse préparée au Centre de Thermique de Lyon – UMR CNRS 5008 3Novembre 2003 INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYON Directeur : STORCK A. Professeurs : AMGHAR Y. LIRIS AUDISIO S. PHYSICOCHIMIE INDUSTRIELLE BABOT D. CONT. NON DESTR. PAR RAYONNEMENTS IONISANTS BABOUX J.C. GEMPPM*** BALLAND B. PHYSIQUE DE LA MATIERE BAPTISTE P. PRODUCTIQUE ET INFORMATIQUE DES SYSTEMES MANUFACTURIERS BARBIER D. BASKURT A. LIRIS BASTIDE J.P. LAEPSI**** BAYADA G. MECANIQUE DES CONTACTS BENADDA B. LAEPSI**** BETEMPS M. AUTOMATIQUE INDUSTRIELLE BIENNIER F. S ...