Contribution à l'étude de procédés de réalisation de structures métal PZT métal sur silicium pour

N° d’ordre 03 ISAL 0029 Année 2003 THESE Présentée devant L’INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYON Pour obtenir LE GRADE DE DOCTEUR Formation doctorale : Dispositifs de l’Electronique Intégrée École doctorale : École doctorale EEA de Lyon Par Cyril MILLON Maître ès sciences Contribution à l'étude de procédés de réalisation de structures métal/PZT/métal sur silicium pour microsystèmes piézoélectriques Soutenue le 16 juillet 2003 devant la Commission d’examen Jury : Rapporteurs : BALLANDRAS Sylvain Chargé de recherche, LPMO, Besançon RÈMIENS Denis Professeur, IEMN, Maubeuge Examinateurs : AÏD Marc Ingénieur, LETI-CEA, Grenoble BARBIER Daniel Professeur, LPM, INSA de Lyon GUILLOT Gérard on MALHAIRE Christophe Maître de conférences, LPM, INSA de Lyon Cette thèse a été préparée au Laboratoire de Physique de la Matière à l’INSA de Lyon. INSA DELYON DEPARTEMENT DES ETUDES DOCTORALES ET RELATIONS INTERNATIONALES SCIENTIFIQUES OCTOBRE 2001 Ecoles Doctorales et Diplômes d’Etudes Approfondies habilités pour la période 1999-2003 ECOLES DOCTORALES RESPONSABLE CORRESPONDANT DEA INSA RESPONSABLE n° code national PRINCIPAL INSA n° code national DEA INSA Chimie Inorganique M. J.F. QUINSON M. D. SINOU Tél 83.51 Fax 85.28 CHIMIE DE LYON M. P. MOSZKOWICZ 910643 UCBL1 83.45 (Chimie, Procédés, Environnement) 04.72.44.62.63 Sec 84.30 Sciences et Stratégies ...