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Synthèse de films minces de CNx et de SiCN par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-onde et par dépôt physique en phase vapeur assisté par pulvérisation magnétron réactive, Synthesis of CNx and SiCN thin films by Microwave Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition and by reactive magnetron sputtering assisted Physical Vapour Deposition
